日本SMC壓力調整器工藝氣體用減壓閥

日本SMC壓力調整器工藝氣體用減壓閥

減壓閥(壓力調整器) 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ 
●適用于半導體產業等高純度的氣體供給
●閥體材質: SUS316L 二次熔煉或SUS316L
●接氣部電解拋光處理
●外部間隙密封構造

日本SMC壓力調整器工藝氣體用減壓閥

1順時針調節手輪，調壓彈簧被壓縮，推動膜片組件下移，通過閥桿，打開閥芯，則入口氣壓力經閥芯節流降壓，壓力輸出

2出口壓力氣體經反饋管進入膜片下腔，在膜片產生一個向上的推力。當此推力與調壓彈簧力平衡時，出口壓力便穩定一定在值。

3SMC減壓閥特點

●體積小，重量輕。

● 比傳統的精密減壓閥IR200輸出流量大。

● 比傳統的精密減壓閥IR200溢流流量大。

● 壓力設定精確。

● 調節螺釘的齒間距由傳統的0.75mm改為0.5mm。

● 安裝方便，可用托架獨立安裝或與現在的模塊式過濾組合元件AF及AFM直接安裝。

● 標準型也帶面板安裝。

● 先導排氣口與主排氣口分開。

● 可在潔凈房使用(特注產品)。

4SMC減壓閥產品系列

1微型減壓閥 ARJ

特長：

小型、輕量(16g)

低開啟壓力0.02MPa

標準規格帶逆流功能。

集裝板(可選項)

設定壓力：0.1-0.7Mpa

2先導式減壓閥 AR

特點：內部先導式溢流型。

設定壓力：0.02-0.83Mpa

3MR單元(帶油霧分離器的減壓閥) AMR

特長：油霧分離器和減壓閥一體化。

過濾精度：0.3μm。

設定壓力：0.05～0.85 Mpa

4小型集裝型減壓閥 ARM5

特長：可以根據配置條件自由選擇。手輪位置：上、正面、下

配管方向：上、下

快換接頭種類：直通接頭、彎頭接頭

可更換快換接頭種類、尺寸。

對應逆流功能標準。

對應數字式壓力開關。

設定壓力：0.05～0.7Mpa